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产品名称:X62 S820×305-D-S型抛光机
产品型号:X62 S820×305-D-S型抛光机
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  • 产品概述
  • 产品特点

产品用途

本机适用于直径100mm以下的硅片、蓝宝石、锗片、砷化镓、铌酸锂等片状材料的单面高精度抛光加工。

 设备基本参数

3.1、 抛光盘尺寸:         φ820mm

3.2、承片盘直径规格:      φ305mm

3.3、抛光头数量             4

3.4、气缸直径              φ140mm

3.5、抛光头升降行程        150mm

3.6、下盘转速:            0-80rpm(调频调速)

3.7、抛光头转速            0-63rpm(调频调速)

3.8、主电机:              11kW  AV380V  1460rpm

3.9、抛光头驱动电机:      0.75kW×

3.10、红外测温仪控温范围: 0-100℃

3.11、最大抛光件规格:    φ300mm

3.12、外形尺寸:          1950 mm ×1150 mm ×2150mm

3.13、重量:              3000kg

基本配置

4.1、气动元件(电磁阀)                 SMC

4.2、减速器               住友(椿本)

4.3、轴承                         国产

4.4、可编程控制器〔PLC                      台达

4.5、人机界面                                台达

4.6、变频器                      台达

4.7、低压电器                               213、魏德米勒等

4.8、旋钮开关、电器开关                               213、和泉等

4.9、主电机                                   国产

4.10、红外探头:                              国产

设备的安装

   设备应安装在地面平坦,远离振动源,无灰尘烟雾污染的场所。

    a 温度10-25

    b 相对湿度≦95%

c 电源电压 AC380V 50Hz

d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)