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产品名称:X62 S1282×485-D-S-1型抛光机
产品型号:X62 S1282×485-D-S-1型抛光机
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  • 产品概述
  • 产品特点

设备用途

该设备主要适用于4-6″蓝宝石、硅片、锗片、铌酸锂、钽酸锂、玻璃等片状硬脆材料的单面高精度抛光加工。

主要技术参数

3.1主抛光盘直径                    φ1282mm   

3.2抛光盘直径                      φ485mm

3.3主抛光盘转速                     065rpm

3.4抛光头转速                       065rpm

3.5抛光头数量                      4

3.6抛光头升降气缸缸径              φ200mm                    

3.7主抛光盘驱动电机                 22kW  1470rpm  380V

3.8抛光头驱动电机                   0.75kW×4

3.9设备外形尺寸(长××高)       3050 mm×1740 mm×2600 mm

3.10设备质量                        6500Kg

主要配置

4.1主减速箱                            日本住友

4.2上盘光头减速箱                      日本住友

4.3下盘轴承                            洛轴

4.4气缸                                SMC

4.5  PLC                                OMRON

4.6  PT人机界面                        OMRON

4.7变频器                              施耐德

4.8电磁阀                              SMC

4.9温控仪                              美国RALTEK

4.10循环冷却机组                       中科科仪

4.11主电机                             国产

4.12按钮开关                   FUJIOMRONSCHNEIDER

设备的安装

   设备应安装在地面平坦、远离振动源、无灰尘烟雾污染的场所。

    a 温度10-25

    b 相对湿度≦95%

c 电源电压AC 380V 50Hz

d 压缩空气源 0.5-0.6Mpa(必须为干燥的清洁空气)

 

主机精度

6.1、基盘端面跳动≤ 0.035mm

6.2、基盘平面度≤0.025mm